超高真空可调式插板阀
此系列阀门为带步进电机的控制插板阀,具有精度高、使用可靠、寿命长等优点,能广泛应用于需要调节阀门的开启度来控制流量的超高真空设备中。阀门分别以步进电机传动力矩为动力,通过传动杆推(拉)动连杆机构,带着驱动体沿轴向运动,驱动体通过摆杆或钢珠与阀板连接,完成阀板开启及关闭动作。阀门作为一个节流元件动作,驱动由驱动器,步进电机和控制器来完成,其中控制器提供一个位詈控制模式,它允许控制阀以选定速度在开和关的任意位置,而电源控制也可手动调节,电源控制时,为脉冲信号控制,速度快,定位准。阀门工作介质为空气及非腐蚀性气体。