20年自主研发
掌握真空核心科技
致力成为中国领先、全球知名半导体核心设备及部件科技企业
全部产品系列
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真空阀
真空部件
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全部 脂润滑一体分子泵系列 渐变式螺杆真空泵系列
全部 半导体精密部件及非标真空管件 超洁净气体管
全部 插板阀 翻板阀 调节阀 挡板阀 充气阀
全部 法兰连接件 波纹管 真空计及配件
全部
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半导体精密部件及非标真空管件
1.高洁净、无油气：严格控制所使用的机械油和冷却液，避免油气附着在产品表面；
2.抗腐蚀性强:采用高品质的材料，搭配特殊的表面处理，可提升不锈钢材料的抗腐蚀性;
3.零残留、零囤积：由特殊管口处理，将表面处理至最佳状态，完全杜绝残留问题的发生。
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超洁净气体管
超洁净气体管是使用SUS316LEP级不锈钢管。对于高毒特气需使用双套管的形式来输送，内管与外套管之间进行抽真空操作，生产过程100%全检，且安装负压表实时监控其真空度。内管采用PE级不锈钢管，外套管可采用BA级不锈钢管
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