产品中心 - 中科九微

复合一体分子泵

（1）一体控制：控制器一体化设计，便于系统集成，可以一键启停；
（2）精密轴承：脂润滑精密陶瓷球轴承，可任意角度安装；
（3）产品可靠：涡轮转子一体成型，无位置传感器高速电机驱动；
（4）功能多样：配件齐全，可提供客户定制方案；
（5）提供转速可调功能，满足客户一款泵多种抽速的需求；

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分体式复合分子泵

（1）分体控制：控制器分体化设计，AC220V供电，一键启停；
（2）产品可靠：整体转子一体成型，无位置高速电机驱动；
（3）精密轴承：全部采用精密陶瓷球轴承，脂润滑型号可以实现任意角度安装；
（4）功能多样：配件齐全，可提供客户定制方案；
（5）提供转速可调功能，满足客户一款泵多种抽速的要求；

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渐变式螺杆真空泵SSH系列

（1）自主开发专利设计较其他螺杆型线更为节能30%;
（2）气体过流部分，独家涂抹进口改质剂，可减少PM次数，有效的延长真空泵的运行寿命;
（3）SSH系列标配加热系统，避免制程物沉积;
（4）自主开发永磁同步水冷电机及水冷变频器，达到欧盟IE4节能等级;
（5）拥有高通信互联网功能，随时随地通过互联网界面，监控任何一台真空泵的运行状态;

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渐变式螺杆真空泵CSH系列

1.自主开发，专利设计较其他螺杆型线更为节能30%;
2.电机及控制柜依现场环境可做防爆等级配置;3可处理不同溶剂的蒸气及可燃性气体或蒸气;
4.特殊的表面涂层，可有效的耐腐蚀;
5内部压缩无其他介质，不会对工艺过程和环境造成污染;

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